在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中,半導(dǎo)體制造設(shè)備是我國卡脖子的問題,也是重點鼓勵發(fā)展的產(chǎn)業(yè)。近幾年,隨著國家政策的調(diào)整,半導(dǎo)體行業(yè)迅速發(fā)展,產(chǎn)業(yè)規(guī)模急速增大,半導(dǎo)體制造設(shè)備持續(xù)向精密化、復(fù)雜化演變,高精密陶瓷關(guān)鍵部件的技術(shù)要求也越來越高。 精密陶瓷在半導(dǎo)體中的應(yīng)用 半導(dǎo)體設(shè)備需要大量的
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